檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Patterning".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="圖案化晶圓"
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隨著積體電路(Integrated Circuit, IC)迅速發展演進,晶圓上金屬導線之線寬隨科技發展越來越小,在微型化發展過程中,為達金屬導線線寬微小化之目的,則需進行高解析度之微影製程,晶圓表…